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 ■  附属设备及零部件
Local Scrubber : 处理工艺生产的有害气体用的废气处理机
点击:3283  时间:2013-07-18 13:16:36  [ 打印 关闭 ]
Local Scrubber : 处理工艺生产的有害气体用的废气处理机 (IC, LCD, LED, PV..) 

 
a.应用 : 8” &12’ IC fab Etch, TF, DiFF, Facility area tool's waste gas treatment.

b.  产品:睿励引进现行成熟技术针对集成电路产业共同开发并生产制造.                                           
     目前生产型号有  Thermo-Wet scrubber  RL-400,RL-800; Dry scrubber RD200S,RD400D; Wet scrubber RW600,RW-1000