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 ■  光学关键尺寸分析系统
TFX3000 OCD--300mm全自动光学关键尺寸和形貌测量系统
点击:7473  时间:2013-04-02 14:13:36  [ 打印 关闭 ]
    TFX3000 OCD是im体育仪器(上海)有限公司自主创新开发,具有自主知识产权的集成电路生产线300mm硅片全自动光学关键尺寸(OCD)和形貌测量系统。其在TFX3000系统基础上集成光学关键尺寸测量模块,除具有300mm全自动光学膜厚测量能力外,还可以进行显影后检查(ADI)、刻蚀后检查(AEI)等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度(SWA)、高度/深度等关键尺寸(CD)特征或整体形貌测量。可测量二维多晶硅栅极刻蚀(PO)、隔离槽(STI)、隔离层(Spacer)、双重曝光(Double Patterning)或三维连接孔(VIA)、鳍式场效应晶体管(FinFET)、闪存(NAND)等多种样品。具有高速、准确和非破坏性等特点。


 
RTOCD -- 关键尺寸分析软件
RTOCD是im体育仪器(上海)有限公司自主开发的关键尺寸分析软件。该产品为独立运行的离线分析软件,也可以与TFX3000 OCD在线搭配使用。RTOCD具有以下特点:
·  自主研发的快速电磁场计算算法
·  支持多种二维和三维半导体结构的高自由度建模
二维多晶硅栅极刻蚀(PO)、隔离槽(STI)、隔离层(Spacer)、双重曝光(Double Patterning)等
三维连接孔(VIA)、鳍式场效应晶体管(FinFET)、闪存结构(NAND)等
·  界面友好,输入简捷,操作便利,数据详实
·  能够进行实时快速的回归分析
·  基于光谱进行多种数据分析
·  具备64位并行计算功能,可线性提升的光谱计算能力